Materials aspects of x-ray lithography - symposium held April 12-14, 1993, San Francisco, California, U.S.A
- Författare
- (Editors: George K. Celler, Juan R. Maldonado.)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Materials Research Society | cop. 1993 | USA, Pittsburgh, Pa | xi, 291 sidor. ill. |